~低流量實驗室流量計發展
~熱質式流量計（見下圖5）是第一個低流量計，其中有兩種主要類型。熱擴散流量計操作，如何測量液體流量移除一元件的熱量正比於流量。通常這不是很準確。第二熱量方法使用兩個或甚至三個元件。一個元件用於參考溫度測量。第二個是一個熱源和第三量測散熱等的流量。這些是質量流量設備，並且能夠測量非常低的流量，雖然液體的熱量特性必須是已知的用於精確測量。